研发代工合作—宙讯微电子压电MEMS工艺平台

宙讯微电子压电MEMS工艺平台是南京宙讯微电子科技有限公司投资创建，于2022年起正式对外开放。针对先进微电子、声电、MEMS、RF前端等领域的器件/芯片的可控开发、晶圆制造、封装与检测需求，工艺平台已建成集先进工艺开发、器件工艺制备及定制化产品开发量产为一体的综合性平台。平台设备选型满足6英寸全自动化晶圆量产需求，配备有全自动步进式曝光机、多种镀膜形式、多种刻蚀方法以及多功能的表征设备，确保技术的先进性和产品的高质量。

宙讯微电子压电MEMS工艺平台是全球为数不多的专注于研发压电MEMS器件开发和量产的公共平台，目前已为全球众多研究团队的项目实施提供微纳加工技术服务和器件级全流程工艺整合开发。我们与海内外多所高校、科研院所和高科技企业保持长期合作，积极推进产业技术服务，扩大与企业的产学研合作，利用平台的设备、技术和人才资源优势，助力孵化项目和产业化进程。

您的研究课题若与压电MEMS领域新器件有关，如果您正在寻找相关的服务单位，我们平台可以向您提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案。

我们的服务内容与工艺能力简单介绍如下：