近日，南京宙讯微电子科技有限公司（以下简称“宙讯微电子”）申请的发明专利《一种体声波谐振器及其制造方法》，现已取得国家知识产权局的授权，专利号：ZL 2023 1 0424895.0。
这次专利的授权证明了宙讯微电子科研实力再获国家认可，再上新台阶！
专利技术介绍
《一种体声波谐振器及其制造方法》发明公开一种新型BAW体声波谐振器结构及其制造方法。
近几年来，5G技术急速发展，推动着手机终端射频系统的全面升级。未来几年内，5G手机以及基站的数量将成倍增长，滤波器需求量也将大幅提升。导致市场对滤波器的工作频段、传播损耗等各方面性能也有着越来越高的要求。
传统体声波滤波器FBAR有优良性能的同时，也有着相对复杂的制造流程和昂贵的成本。
宙讯微电子构造了一种新型的体声波谐振器结构，衬底经过减薄处理，在衬底中包含贯穿衬底上下表面的第二空腔。相比于传统的体声波谐振器，第二空腔与通孔的形成步骤得到简化，避免了牺牲层平坦化与深硅刻蚀等工艺难度较大的步骤，降低了制造复杂度。同时无需在压电谐振结构中形成释放孔，减少对器件性能的损害。
本发明专利能够简化体声波谐振器的制造流程，避免传统体声波谐振器制造过程中一些难度较大的工艺步骤，同时还可以有效降低制造难度与制造成本。
荣获专利 意义重大
此次发明专利的获得，是宙讯微电子在自主知识产权成果方面开发能力的展现，是对公司坚持技术创新路线的肯定，进一步促进其完善公司知识产权保护体系，有助于提升公司核心竞争力，是宙讯微电子长远发展战略的重要一环。
不忘初心，继续前行，宙讯微电子将不骄不馁，砥砺前行。并持续提升自主创新能力和核心竞争力，深耕射频前端技术，坚持锐意进取、科学管理，引领射频前端产业前行，为实现“中国芯”的伟大愿景而不懈努力！
